Les capteurs de pesée miniatures sont des appareils de mesure de force-de précision développés sur la base de la technologie des systèmes microélectromécaniques (MEMS). Appartenant à la catégorie des dispositifs microélectromécaniques, leur principale avancée technologique réside dans l’optimisation à l’échelle nanométrique des éléments de détection piézorésistifs semi-conducteurs.
Les cellules de pesée miniatures réalisent principalement des mesures en générant des signaux électriques via la déformation mécanique d'un diaphragme miniature. Le composant principal utilise une jauge de contrainte MEMS. Ces capteurs peuvent être miniaturisés à quelques millimètres et ne pèsent que quelques grammes. La technologie d'emballage composite utilise une structure à double couche de silicone-métal-, offrant une protection contre l'humidité et la poussière tout en contrôlant la dérive de température à ±0,005 %/degré.
Les cellules de pesée miniatures englobent deux types principaux : les capteurs de pression miniatures et les accéléromètres miniatures. Ils peuvent être intégrés dans des appareils portables intelligents (tels que les fonctions de surveillance du poids des montres intelligentes), dans l'électronique grand public (tels que les boutons sensibles à la pression sur les smartphones), dans le pesage des chaînes de production industrielle, dans la mesure des emballages, dans le dosage des matériaux et dans les équipements médicaux (tels que les systèmes de retour de force conjoints dans les robots chirurgicaux), élargissant ainsi les limites d'application des cellules de pesée.