Le principe de base des capteurs de haute-précision réside dans la conversion de la quantité mesurée en un signal électrique précis, stable et fiable grâce à une conception précise, des processus de fabrication avancés, des algorithmes de traitement du signal complexes et des techniques rigoureuses de compensation des erreurs. Les aspects clés pour atteindre une haute précision comprennent : l'optimisation des principes de détection de base, des matériaux et des structures de précision à haute-performance, des processus de fabrication avancés (tels que les MEMS), des circuits électroniques à faible-bruit et de haute-précision, la compensation de température, la non-linéarité et la linéarisation, l'étalonnage et la normalisation, le traitement du signal numérique, ainsi que la suppression et le blindage des interférences. L'idée principale est de comprendre et de quantifier en profondeur toutes les sources d'erreurs possibles et d'éliminer ou de compenser activement ces erreurs grâce à la conception collaborative du matériel et des logiciels.
Dans le domaine de la fabrication et de l'inspection de précision, des capteurs de haute-précision sont utilisés pour les mesures de déplacement, de dimensions et de topographie de surface de haute-, tels que le capteur de contact de type stylo GT2-P12KL-pour la détection au niveau du micron.
Dans le domaine du contrôle et de la surveillance des processus, des capteurs de haute-précision sont utilisés dans des environnements industriels difficiles tels que les industries chimiques et énergétiques pour une surveillance hautement fiable des paramètres de processus clés tels que la pression, la température et le débit, tels que les capteurs de pression de haute-précision de la série PX409 d'OMEGA.
